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单晶镜面是怎样抛光的

发布时间:2023-10-21 21:59
  • 产品介绍
  • 规格参数
单晶硅片是一种高纯度的硅材料,具有均匀的结构和优异的电子性能。它在半导体工业中被广泛应用,作为制造集成电路和太阳能电池等器件的基板材料。单晶硅片的生产过程经历了多个步骤,其中抛光是关键的工艺之一。下面将介绍单晶硅片的抛光过程以及生产工艺流程。

1. 单晶硅片是怎样抛光的
抛光是单晶硅片制备过程中非常重要的一步,它的目的是使硅片表面变得平整光滑。

机械研磨:首先,使用机械磨床对单晶硅片进行粗磨,去除表面的粗糙度和缺陷。通常采用研磨液和研磨片进行研磨,通过不断地研磨和冲洗来逐渐去除硅片表面的不平整部分。 化学机械抛光:在机械研磨后,将单晶硅片放置在抛光机中进行化学机械抛光。这个过程通过将硅片浸泡在特定的抛光液中,并在旋转盘上施加力量,使硅片表面进一步平整化。抛光液通常包含有机酸、氧化剂和磨料等成分,能够去除硅片表面的微观凹凸。

清洗和检查:完成抛光后,对单晶硅片进行清洗,去除抛光液和残留物。然后对抛光后的硅片进行严格的检查,以确保表面质量达到要求