超精密加工，是一种固结磨粒压力进给的一种精整加工方法，这种超精密加工，能够将微细磨粒以及低强度结合剂制成油石加压在需要加工的工件表面。

　　在工件与油石所接触的表面，加注大量的适当粘度的油液，在超精密加工中的轨迹是正弦曲线，是有利于保持磨粒的尖锐，降低表面的形状误差，一般能够在较短 的时间内达到镜面效果，在平面研磨抛光机低速进给加工中，由于变质层较小，能够获得工件表面比较高的耐蚀性以及耐磨性表面。

　　适当的组合不同的油石形状以及相对运动的形式，能够适用于各种外圆、平面等加工。

　　超精密加工的机理有几个阶段。对超精密加工油石的时候加压大多数的压力以及空气压力，超精密加工表面一般会经过精密磨削，达到一定的表面粗糙度。

　　1、强烈的切削阶段，工件表面粗糙度与油石相接触的时候，其接触的应力较大，奇偶瑟吉欧，平常继续哦啊么破碎自锐现象。

　　2、进入正常的加工阶段，工件粗糙层表面被磨除，表面会附着一层黑色。

　　3、工件在研磨过程中，磨粒的自锐会减少，切屑氧化物开始嵌入空隙中，会出现堵塞气孔，使磨粒的切削能力降低，工件表面粗糙度会出现下降，黑色切屑会附着在工件表面。

　　4、油石与工件之间进行相互摩擦较为光滑，接触面积加大，磨粒不能与工件接触，会形成油膜，根据超精密加工，需要选择正确的参数，为了提高超精密加工的效率以及质量，需要分为粗磨以及精磨。