您好,欢迎光临深圳市海德精密机械有限公司官方网站!


海德平面研磨机

新闻资讯 News

主页 > 新闻资讯 > 公司新闻 > - 公司新闻

公司新闻

蓝宝石研磨液

发表时间:2014-11-29

  蓝宝石研磨液

  蓝宝石研磨液(又称为蓝宝石抛光液)是用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液。

  蓝宝石研磨液由优质聚晶金刚石微粉、复合分散剂和分散介质组成。

  蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性,在研磨抛光过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。可以应用在蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、磁头、硬盘、芯片等领域的研磨和抛光。

  蓝宝石研磨液在蓝宝石衬底方面的应用

  1. 外延片生产前衬底的双面研磨:多用蓝宝石研磨液研磨一道或多道,根据最终蓝宝石衬底研磨要求用6um、3um、1um不等。

  2. LED芯片背面减薄

  为解决蓝宝石的散热问题,需要将蓝宝石衬底的厚度减薄,从450nm左右减至 100nm左右。主要有两步:先在横向减薄机上,用50-70um的砂轮研磨磨去300um左右的厚度;再用抛光机(秀和、NTS、WEC等)针对不同的研磨盘(锡/铜盘),采用合适的蓝宝石研磨液(水/油性)对芯片背面抛光,从 150nm减至100nm左右。