工件的表面质量对工件会存在直接影响着工件的镜面精度以及工件的精度保持性,所以对工件的超精密加工技术,以及获得满意的表面质量就是一个重点。
加工面的形成情况,在研磨过程中,加工面会产生一定的弹性变形,并最终会导致工件的变形,在研磨的时候,会受到挤压,而产生一定的塑性变形和弹性变形,由于挤压力的消失,工件的表面层会最终产生一定的弹性回复变形,最终在加工工件平面的过程中,工件的表面会产生加工变形。
工件的材料会最终影响工件的表面粗糙度,在超精密研磨加工的过程中,任何的研磨过程中出现突变和干扰都是会反映到加工的表面的形状的误差之中的,最终的表面就是表面粗糙度的大小情况。
通常在加工过程中出现突变就会在技术的材料的表面留下凹坑,工件的表面存在杂质粒子也会发生突变,随着工件的材料的纯度的降低,其工件的表面粗糙度就会上升,工件的合成成分的提高,其工件的表面粗糙度的值也会提高。
工件的研磨抛光设备的性能会在局部区域的范围出现突变,都会使得工件的粗糙度值发生突变,最终影响工件的加工精度。